超精密車削是超精密加工中一種重要的加工方式，主要用于加工金屬平面反射鏡、紅外鍺透鏡、非球曲面光學(xué)透鏡等的超精表面。要實(shí)現(xiàn)超精密車削，除需要配備超精密車床、高精度測(cè)量設(shè)備及鋒利的金剛石刀具外，高精度微進(jìn)給機(jī)構(gòu)在超精密車削中也起著舉足輕重的關(guān)鍵作用。在超精密車削中，實(shí)現(xiàn)刀具的精確微小位移是進(jìn)行超精密加工的必要條件。我公司研發(fā)生產(chǎn)的壓電陶瓷超精密加工平臺(tái)的控制精度已達(dá)到納米級(jí)，頻響達(dá)到上千赫茲，重復(fù)定位精度巳經(jīng)達(dá)到了亞納米，頻響達(dá)到數(shù)百赫茲，解決了超精密加工領(lǐng)域的難題。

電子產(chǎn)品的微型化帶來(lái)了深刻的技術(shù)變革，今天機(jī)械產(chǎn)品也正處于類似的微型化的邊緣。微型機(jī)電系統(tǒng)的研究雖然剛剛起步，但是發(fā)展十分迅猛。在微型機(jī)械制造中，組裝復(fù)雜的微型機(jī)電系統(tǒng)，離不開裝配環(huán)節(jié)。目前采用自裝配工藝制造出來(lái)的微型機(jī)械系統(tǒng)，由于其相對(duì)運(yùn)動(dòng)的表面沒(méi)有經(jīng)過(guò)預(yù)處理，運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的摩擦現(xiàn)象嚴(yán)重影響了微型機(jī)械的壽命。目前微型機(jī)械的壽命一般都很短，只有幾十個(gè)小時(shí)，甚至幾個(gè)小時(shí)。為此，需要一種能夠操作微小物體的工具，用于微型機(jī)電系統(tǒng)的封裝和裝配。這種工具應(yīng)該是一種智能化的機(jī)器人系統(tǒng)，以滿足微型機(jī)電系統(tǒng)大量生產(chǎn)的要求。

由于壓電定位技術(shù)具有很多獨(dú)特之處，例如快速響應(yīng)、剛性好、長(zhǎng)壽命、無(wú)限的分辨率等，很快在從半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備到精密機(jī)械加工等許多領(lǐng)域中得到應(yīng)用。其中，最具有代表性的應(yīng)用為用于精密加工的壓電快速機(jī)床伺服系統(tǒng)，該類系統(tǒng)通常裝有特殊的防水外殼，并提供與機(jī)床相聯(lián)的機(jī)械接口。壓電定位系統(tǒng)內(nèi)置測(cè)量/傳感子系統(tǒng)，分辨率達(dá)到納米至亞納米級(jí)，通過(guò)數(shù)字或模擬控制器可閉環(huán)工作。柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)及運(yùn)動(dòng)放大機(jī)構(gòu)可以在增大行程的同時(shí)保護(hù)壓電陶瓷免受離軸力（側(cè)向力和扭矩）的破壞。

壓電定位系統(tǒng)廣泛用于世界各地的工廠中，每天工作24小時(shí)，一周7天。它們的使用大大提高了光學(xué)器件、曲軸、軸承、活塞、汽缸等的加工精度，成為機(jī)床中金剛石修整、研磨、拋光、非圓鏜孔和磨損補(bǔ)償?shù)汝P(guān)鍵工藝的核心部件。

光學(xué)薄膜：利用光學(xué)薄膜制造工業(yè)，廣泛應(yīng)用了動(dòng)態(tài)陶瓷機(jī)。高速和精確的控制使客戶可以快速創(chuàng)建各種各樣的模式和微透鏡，在眾多的應(yīng)用中使用。

凹版印刷：類似于光學(xué)薄膜制造，F(xiàn)TS系統(tǒng)可以用來(lái)蝕刻精確的微特征在凹版輥以極高的紡錘速度。

超精密加工：FTS系統(tǒng)允許制造商快速生產(chǎn)超高精度非對(duì)稱產(chǎn)品，如橢圓活塞、膠印鏡和隱形眼鏡。