壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái) ∣ PT2R60-100S
應(yīng)用領(lǐng)域：掃描顯微鏡、晶圓定位、干涉測(cè)量、測(cè)量技術(shù)、生物技術(shù)、光學(xué)
- 運(yùn)動(dòng)方向： θx、θz軸
咨詢服務(wù)熱線：
13062620377產(chǎn)品型號(hào) | PT2R-060S | PT2R-060S-S | 公差 | 備注 | |
運(yùn)動(dòng)自由度 | θx、θz | θx、θz | - | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | - | |
θz標(biāo)稱行程范圍（@0~+120V） | 62”[Sec] ≈ 0.3mrad | 62”[Sec] ≈ 0.3mrad | ±10% | - | |
θx標(biāo)稱行程范圍（@0~+120V） | 103”[Sec] ≈ 0.5mrad | 103”[Sec] ≈ 0.5mrad | ±10% | ||
分辨率 | （θz）0.01μrad、（θx）0.016 μrad、 | （θz）0.01μrad、（θx）0.016 μrad、 | typ. | Note 1 | |
重復(fù)定位精度 | - | 0.1% F.S. | typ. | - | |
線性度 | - | 0.2% | typ. | - | |
空載階躍時(shí)間 | 2 ms | 10 ms | typ. | Note 2 | |
承載能力 | 50 N | 50 N | Max. | - | |
諧振頻率 | 0g | （θz）1200 Hz、（θx）1600 Hz、 | （θz）1200 Hz、（θx）1600 Hz、 | ±20% | Note 3 |
驅(qū)動(dòng)方式 | 壓電陶瓷 | 壓電陶瓷 | - | - | |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
線纜長(zhǎng)度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | Note 4 | |
外形尺寸(LxWxH) | 70×70×37.5 mm | 70×70×37.5 mm | - | - | |
重量 | 355 g | 355 g | ±5% | Note 5 | |
Note：
1. 指實(shí)際分辨率，為PCM931S壓電控制器實(shí)際輸出電壓分辨率計(jì)算得出。（另，驅(qū)動(dòng)電壓輸出的紋波噪聲mVpp對(duì)應(yīng)的分辨率為理論分辨率，因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無(wú)摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。即型號(hào)為為PCM931S壓電控制器的驅(qū)動(dòng)電壓紋波噪聲為2mVpp，則對(duì)應(yīng)的壓電平臺(tái)的分辨率為0.003μrad）。
2. 開(kāi)環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與壓電控制器的驅(qū)動(dòng)電流有關(guān)。閉環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與閉環(huán)的調(diào)節(jié)有關(guān)。
3. 為壓電納米定位系統(tǒng)共振頻率，使用時(shí)應(yīng)避開(kāi)此頻率，建議在負(fù)載對(duì)應(yīng)的諧振頻率80%下使用。
4. 線纜長(zhǎng)度可定制。
5. 臺(tái)體重量不包括線纜及連接器的重量。
6. 可定制連接器型號(hào)。
注：以上規(guī)格參數(shù)基于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境測(cè)得。
