壓電物鏡臺(tái) ∣ NanoF3D-600U
應(yīng)用領(lǐng)域：超分辨率顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D成像、干涉測(cè)量、半導(dǎo)體測(cè)量技
- 運(yùn)動(dòng)方向： X、Y、Z 軸
- 標(biāo)稱行程： （X、Y）450 μm、（Z）80 μm
- 外形尺寸： 70 × 70 ?× 26 mm
咨詢服務(wù)熱線：
13062620377產(chǎn)品型號(hào) | NanoF3D-600U | NanoF3D-600U-S | 公差 | 備注 | |
運(yùn)動(dòng)自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | - | |
標(biāo)稱行程范圍（@0~+120V） | （X、Y）450 μm、（Z）80 μm | （X、Y）450 μm、（Z）80 μm | ±10% | - | |
最大行程范圍（@-20~+150V） | （X、Y）600 μm、（Z）110 μm | （X、Y）600 μm、（Z）110 μm | ±20% | - | |
分辨率 | （X、Y）15 nm、（Z）3 nm | （X、Y）15 nm、（Z）3 nm | typ. | Note 1 | |
重復(fù)定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | - | |
線性度 | - | 0.2% | typ. | - | |
空載階躍時(shí)間 | 5 ms | 30 ms | typ. | Note 2 | |
承載能力（推薦） | 5 N | 5 N | Max. | - | |
諧振頻率 | 0g | （X、Y）150 Hz、（Z）190 Hz | （X、Y）150 Hz、（Z）190 Hz | ±20% | Note 3 |
運(yùn)動(dòng)方向剛度 | （X、Y）0.25 N/μm、（Z）0.5 N/μm | （X、Y）0.25 N/μm、（Z）0.5 N/μm | ±20% | - | |
運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力 | 30N / 5N | 30N / 5N | ±20% | - | |
驅(qū)動(dòng)方式 | 壓電陶瓷 | 壓電陶瓷 | - | - | |
工作溫度范圍 | -20~+12 ℃ | -20~+12 ℃ | - | - | |
線纜長(zhǎng)度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | Note 4 | |
外形尺寸(LxWxH)不含轉(zhuǎn)接件 | 70 × 70 × 26 mm | 70 × 70 × 26 mm | - | - | |
重量 | 350 g | 350 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本體材質(zhì) | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | - | - | |
Note：
1. 指實(shí)際分辨率，為PCM941S壓電控制器實(shí)際輸出電壓分辨率計(jì)算得出。（另，驅(qū)動(dòng)電壓輸出的紋波噪聲mVpp對(duì)應(yīng)的分辨率為理論分辨率，因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無(wú)摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。
2. 開環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與壓電控制器的驅(qū)動(dòng)電流有關(guān)。閉環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與閉環(huán)的調(diào)節(jié)有關(guān)。
3. 為壓電納米定位系統(tǒng)共振頻率，使用時(shí)應(yīng)避開此頻率，建議在負(fù)載對(duì)應(yīng)的諧振頻率12%下使用。
4. 線纜長(zhǎng)度可定制。
5. 臺(tái)體重量不包括線纜及連接器的重量。
6. 可定制連接器型號(hào)。
注：以上規(guī)格參數(shù)基于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境測(cè)得。
