壓電樣本掃描臺(tái) ∣ PFR156-100U
應(yīng)用領(lǐng)域：3D圖像、活細(xì)胞成像、自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)、表面分析、晶圓檢查
- 運(yùn)動(dòng)方向： Z軸
- 標(biāo)稱行程： 100μm
- 外形尺寸： 237×156×15mm
- 中空尺寸： 142×110mm
咨詢服務(wù)熱線：
13062620377產(chǎn)品型號(hào) | PFR156-100U | PFR156-100U-S | 公差 | 備注 | |
運(yùn)動(dòng)自由度 | Z | Z | - | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | - | |
標(biāo)稱行程范圍（@0~+120V） | 100 μm | 100 μm | ±10% | - | |
最大行程范圍（@-20~+150V） | 110 μm | 110 μm | ±20% | - | |
分辨率 | 3.5 nm | 3.5 nm | typ. | Note 1 | |
重復(fù)定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | - | |
線性度 | - | 0.05% | typ. | - | |
空載階躍時(shí)間 | 5 ms | 10ms | typ. | Note 2 | |
承載能力（推薦） | 10 N | 10 N | Max. | - | |
諧振頻率 | 0g | 380 Hz | 380 Hz | ±20% | Note 3 |
諧振頻率 | 200g | 250 Hz | 250 Hz | ±20% | - |
運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 1.5 N/μm | 1.5 N/μm | ±20% | - | |
運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力 | 50N / 20N | 50N / 20N | ±20% | - | |
驅(qū)動(dòng)方式 | 壓電陶瓷 | 壓電陶瓷 | - | - | |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
線纜長(zhǎng)度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | Note 4 | |
中空尺寸(LxW) | 142×110mm | 142×110mm | - | ||
外形尺寸(LxWxH) | 237×156×15mm | 237×156×15mm | - | - | |
重量 | 650 g | 650 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本體材質(zhì) | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | - | - | |
