規(guī)格型號1 | PT4V150-600S | PT4V150-600S-S | 公差 8 |
運(yùn)動(dòng)軸 | Z+θx、θy | Z+θx、θy | - |
集成傳感器 | - | SGS | - |
標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V) | (Z)300μm (θxθy)±600”[Sec] ≈±3.2mrad | (Z)300μm (θxθy)±600”[Sec] ≈±3.2mrad | ±20% |
最大行程范圍2 @-20~+150V) | (Z)340μm (θxθy)±825”[Sec] ≈±4mrad | (Z)340μm (θxθy)±825”[Sec] ≈±4mrad | ±20% |
分辨率3 | (Z)10nm、(θxθy) 0.1μrad | (Z)10nm、(θxθy) 0.1μrad | typ. |
最小移動(dòng)步長4 | (Z)10nm、(θxθy) 0.1μrad | (Z)10nm、(θxθy) 0.1μrad | typ. |
線性誤差 | - | (Z)0.03%、(θxθy)0.01% | typ. |
重復(fù)定位精度(全行程) | - | 0.01% | typ. |
承載能力5 | 50 N | 50 N | typ. |
諧振頻率(0g) | (Z)340 Hz | (Z)340 Hz | ±20% |
驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) | PZT | PZT | - |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
線纜長度 6 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中孔尺寸 | 66×66mm | 66×66mm |
|
外形尺寸(長×寬×高) | 150×150×30 mm | 150×150×30 mm | - |
重量7 | 1168 g | 1168 g | ±5% |
PZT&Sensor 連接器 | LEMO | LEMO | - |
本體材質(zhì) | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | - |
注:所有規(guī)格參數(shù)基于室溫(22°C±3°C)測得,欲了解更多信息,請與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。 1.尾綴“-S”為閉環(huán),內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S,無線性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。
2. 最大驅(qū)動(dòng)電壓為-20V~+150V,對于高可靠的長期使用,建議驅(qū)動(dòng)電壓在 0...+120V,更大行程請咨詢。出廠為標(biāo)稱行程。
3. 分辨率即定位噪聲。因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無摩擦,所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。通常使用 RMS(1σ)值進(jìn)行測量和指定。
4. 指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動(dòng)的最小步長值,它主要由壓電控制器的 DAC 分辨率決定。最佳情況下,參數(shù)表中為 16-Bit 對應(yīng)的位移步長值。
5. 軸向載荷,更高的負(fù)載請咨詢,注意超出標(biāo)稱負(fù)荷會對柔性機(jī)構(gòu)造成損壞。
6. 更長的線纜長度請咨詢。
7. 臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8. 公差中 Max.表示最大值;typ.表示標(biāo)準(zhǔn)典型數(shù)據(jù)值,檢測報(bào)告中會給出實(shí)際的測量數(shù)據(jù)值。