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13062620377? 測量原理
NMT-C (電容式非接觸位移傳感器)是基于理想平板電容原理設計研發(fā)的,被測物體與傳感器各自作為一個平板電極。給傳感器一個持續(xù)穩(wěn)定的交流電,交流電壓的振幅變化與電容到被測物體之間的距離成正比。交流電經過解調,可以輸出為模擬量信號。NMT-C 測量系統(tǒng),分析平板電容的阻抗值, 該阻抗值與電容到被測物體的距離成正比關系。
? 電容式探頭的使用
如果測量任務要求極高的精度水平,電容式傳感器是最佳選擇之一。電容式測量原理的精度,在諸多非接觸式位移測量原理中名列前茅。電容式測量原理需要清潔的工作環(huán)境,避免介電常數ε的變化影響測量結果。電容式探頭可以測量所有導電材料。如果在真空環(huán)境下和潔凈室內使用,傳感器和電纜被證明可以在潔凈室和真空環(huán)境下使用。如果需要,極低的氣體泄漏量使探頭可以在超真空環(huán)境(UHV)下使用。電容式測量系統(tǒng),配備了獨特的主動降噪電纜和主動電場屏蔽環(huán)電容。測量信號的超高質量源于雙層屏蔽結構。測量系統(tǒng)擁有幾乎完美的電氣保護,使高精度測量成為可能。除此以外,電場屏蔽環(huán)電極為需要超高穩(wěn)定性,抗干擾以及精確的測量任務提供了一個完全均勻穩(wěn)定的測量電場。
規(guī)格型號 | NMT-C1 | NMT-C1.OEM | NMT-C3 |
通道數量 | 1 | 1 | 3 |
量程范圍 | 200 μm | 200 μm | 200 μm |
傳感器類型 | capacitive | capacitive | capacitive |
線性度 | ±0.1 μm | ±0.1 μm | ±0.1 μm |
靜態(tài)分辨率 | 0.0025 μm | 0.0025 μm | 0.0025 μm |
動態(tài)分辨率(1Khz) | 0.1 μm | 0.1 μm | 0.1 μm |
傳感器直徑 | 10 mm | 10 mm | 10 mm |
最小目標直徑 | 10 mm | 10 mm | 10 mm |
靜態(tài)重復性 | 0.005 μm | 0.005 μm | 0.005 μm |
信號溫度穩(wěn)定性 | ≤0.005 % FSO/°C | ≤0.005 % FSO/°C | ≤0.005 % FSO/°C |
靈敏度 | 50 mV/μm | 50 mV/μm | 50 mV/μm |
帶寬(-3db) | 2KHz | 2KHz | 2KHz |
長期穩(wěn)定性 | ≤0.04 % FSO/月 | ≤0.04 % FSO/月 | ≤0.04 % FSO/月 |
傳感器線纜長度 | 1.6 m | 1.6 m | 1.6 m |
傳感器輸出接口 | BNC | 歐式連接器端子 | SMB |
傳感器輸出電壓 | 0~+10VDC(測量范圍內) | 0~+10VDC(測量范圍內) | 0~+10VDC(測量范圍內) |
輸出噪聲 | 3mVpp | - | 3mVpp |
工作溫度范圍 | +10~+50 | +10~+50 | +10~+50 |
顯示范圍 | -20V~+20V | - | - |
工作電壓 | 220VAC 50Hz±10% | ±15 VDC/±50 mA | 220VAC 50Hz±10% |
外形尺寸 | 105×200×55mm | 35×130×180mm | 3U-9.5“ |
傳感器連接器 | OUDU | OUDU | OUDU |
重量 | 520g | 400g | 2kg |
典型應用
安裝方式