激光束偏轉及其掃描在半導體加工、軍事探測、航空航天、生物醫(yī)學、納米科學研究等領域得到了越來越多的應用，同時對其性能要求也越來越高，受其體積，掃描頻率，掃描精度，掃描分辨率等諸多因素的制約，傳統(tǒng)的機械掃描方式越來越難以滿足要求。衛(wèi)星遙感技術和現代高技術戰(zhàn)爭對衛(wèi)星照相機分辨率提出了越來越高的要求。衛(wèi)星在軌道上的高速飛行，以及太空中某些不確定因素對衛(wèi)星姿態(tài)的干擾是影響衛(wèi)星拍照分辨率的重要原因。如果在衛(wèi)星上裝備納米定位系統(tǒng)，控制光束的偏轉，可以抵消衛(wèi)星的飛行速度對照相機指向精度的影響，補償衛(wèi)星姿態(tài)擾動引起的像移誤差。該方法也適用于許多民用場合，如航空攝影等。

通過壓電陶瓷驅動器的快速偏轉鏡具有很高的諧振頻率，掃描角度小、分辨率高、線性度好，一般應用于自適應光學、光束跟蹤和穩(wěn)定等需要快速響應和小角度偏轉的領域。壓電陶瓷驅動的偏轉鏡具有更快的加速度和更高的帶寬，具有零摩擦和零粘力的鉸鏈導向，并且導向精確性優(yōu)良，采用閉環(huán)系統(tǒng)，具有很高的精確度。壓電偏擺鏡采用壓電陶瓷驅動器直接驅動，多用于圖象處理/穩(wěn)定、激光掃描、通信、光線偏轉、光束偏轉/穩(wěn)定等系統(tǒng)。步研科技公司研發(fā)設計的旋轉傾斜平臺系統(tǒng)，以及壓電驅動的納米定位直線運動平臺等，用于快速光束穩(wěn)定/角度校正的壓電偏擺平臺，應用于光學的精密定位與指向