集成光學(xué)及干涉儀領(lǐng)域
壓電納米定位技術(shù)為MEMS和光電子設(shè)備的測試與制造提供大量的創(chuàng)新解決方案,產(chǎn)品范圍從用于工業(yè)自動化的自動6D對準系統(tǒng)到簡單的實驗室裝置。特有的壓電驅(qū)動裝置使亞毫秒的快速掃描響應(yīng)成為可能。
干涉儀:壓電致動器通過補償機械公差來調(diào)節(jié)反射鏡的位置。解決方案是緊湊的,沒有EMI,提供亞納米分辨率。在許多激光應(yīng)用中,壓電系統(tǒng)提供了光學(xué)鏡和激光的超精確定位。它們還可用于提供穩(wěn)定的窄線寬輸出,具有出色的長調(diào)諧范圍或用于高級激光系統(tǒng)的頻率參考。
光學(xué)微操作微加工技術(shù)是本世紀90年代發(fā)展起來的一種新的“機械加工”方法,光學(xué)微處理系統(tǒng)主要部件是光學(xué)微機械手(光鑷和光刀)。它不同于傳統(tǒng)的機械加工方法,它對微小“工件”(生物細胞、細胞器及其它微小粒子)的夾持、操作和微加工都是用光來實現(xiàn)的,是沒有任何機械接觸的“機械加工”。光鑷和光阱都能深入到物體(如細胞)的內(nèi)部去操控和加工細胞器等內(nèi)部結(jié)構(gòu)組分,而無需切開物體,顯然這種微處理技術(shù)對物體的干擾和破壞要比通常的方法小的多,在傳統(tǒng)微機械難以勝任的微米量級粒子的處理方面,光學(xué)微處理技術(shù)恰能運作自如,成為不可或缺的一項獨立的技術(shù)。在該領(lǐng)域,壓電納米定位產(chǎn)品的具體應(yīng)用包括光纖或光纖陣列的自動對準、用于MEMS和多通道波導(dǎo)器件的測試系統(tǒng)等。